王守武（１９１９．３．１５—２０１４．７．３０），江蘇蘇州人，半導(dǎo)體器件物理學(xué)家，中國(guó)科學(xué)院學(xué)部委員（院士）。１９４５年赴美國(guó)普渡大學(xué)深造，１９４６年獲碩士學(xué)位，１９４９年獲博士學(xué)位。１９５０年歸國(guó)。１９６０年加入中國(guó)共產(chǎn)黨。曾任中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所副所長(zhǎng)（兼任１０９廠(chǎng)廠(chǎng)長(zhǎng)）、微電子研究所名譽(yù)所長(zhǎng)。曾榮獲國(guó)家科技進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)，多次獲得中國(guó)科學(xué)院科研成果一等獎(jiǎng)和科技進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)，以及何梁何利基金科學(xué)與技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)。

王守武：中國(guó)半導(dǎo)體科學(xué)事業(yè)的“拓荒者”

■陳麗娟　呂科偉

王守武是我國(guó)半導(dǎo)體研究的“拓荒者”、半導(dǎo)體事業(yè)的奠基者之一。他在研究與開(kāi)發(fā)中國(guó)半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體器件及大規(guī)模集成電路方面作出了重要貢獻(xiàn)，是我國(guó)第一臺(tái)單晶爐、第一根鍺單晶、第一只鍺晶體管、第一只激光器的研制者與組織領(lǐng)導(dǎo)者。他的這些成就，為我國(guó)半導(dǎo)體科技事業(yè)的發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

▲１９４９年，王守武、葛修懷夫婦在美國(guó)普渡大學(xué)。

留學(xué)美國(guó)，后以“難民”身份回國(guó)

少年時(shí)期的王守武，正值國(guó)家風(fēng)雨飄搖之際，戰(zhàn)爭(zhēng)的陰霾與民生的疾苦深深觸動(dòng)了他。１９３０年，年僅１１歲的他在《民智》第１１期上發(fā)表《我們現(xiàn)在和將來(lái)的責(zé)任》，字字鏗鏘，呼喚“諸位朋友，你們要救中國(guó)……還愿將來(lái)努力救國(guó)、努力富國(guó)、努力強(qiáng)國(guó)”，不僅映照出那個(gè)時(shí)代青年學(xué)子的共同心聲，更展現(xiàn)了他個(gè)人的壯志凌云，那就是求得真學(xué)問(wèn)，用所學(xué)救國(guó)、富國(guó)、強(qiáng)國(guó)。

１９４５年，王守武赴美普渡大學(xué)攻讀工程力學(xué)，碩士畢業(yè)后繼續(xù)深造，于１９４９年２月獲博士學(xué)位，并應(yīng)普渡大學(xué)工程力學(xué)系主任之聘任土木系助教。在攻讀博士期間，他于１９４８年５月與同窗葛修懷女士喜結(jié)連理?；楹?，王守武家成為普渡大學(xué)中國(guó)留學(xué)生交流祖國(guó)近況的聚集地，鄧稼先便是?？椭?。同時(shí)，作為芝加哥中國(guó)留美科學(xué)工作者協(xié)會(huì)普渡分會(huì)的干事，鄧稼先積極傳播國(guó)內(nèi)信息，動(dòng)員留學(xué)生回國(guó)建設(shè)。受鄧稼先影響，王守武也頻繁參與留美科協(xié)活動(dòng)，并計(jì)劃回國(guó)參加建設(shè)，貢獻(xiàn)自己的力量。

１９５０年，隨著朝鮮戰(zhàn)爭(zhēng)的爆發(fā)，中美之間關(guān)系趨于嚴(yán)峻緊張。面對(duì)局勢(shì)，王守武毅然放棄教職回國(guó)，決定用所學(xué)去建設(shè)自己的祖國(guó)。然而，當(dāng)時(shí)中美尚未建立正式外交關(guān)系，護(hù)照辦理遭遇難題。后來(lái)，他通過(guò)留美科學(xué)工作者協(xié)會(huì)得知，印度駐美使館受新中國(guó)政府委托處理中美民間事務(wù)。

１９５０年７月，王守武以“回鄉(xiāng)侍奉孤寡母親”為由，以二哥王守融來(lái)信為證，通過(guò)印度駐美使館協(xié)助，辦理了以難民身份回國(guó)的相關(guān)手續(xù)。９月，王守武夫婦滿(mǎn)懷報(bào)國(guó)熱情與科學(xué)夢(mèng)想，抱著未滿(mǎn)周歲的女兒，搭乘“威爾遜總統(tǒng)號(hào)”客輪從舊金山啟程回國(guó)。１０月，抵達(dá)香港，經(jīng)轉(zhuǎn)深圳，回到蘇州。在王守武一家的行李中，有幾個(gè)沉甸甸的箱子，里面裝滿(mǎn)了工具和零部件，包括變壓器、電鉆、萬(wàn)用電表等。王守武回憶說(shuō)，“１９５０年回國(guó)的時(shí)候，我沒(méi)有什么打算，只是覺(jué)得新中國(guó)剛成立，想為國(guó)家建設(shè)做點(diǎn)貢獻(xiàn)。……干什么都可以，什么都能干”。

▲１９７９年，王守武（左一）與研究人員在超凈線(xiàn)工作。

披荊斬棘，受命拓荒半導(dǎo)體研究

王守武回國(guó)初期即敏銳洞察到國(guó)際半導(dǎo)體科學(xué)的新動(dòng)態(tài)，預(yù)言“半導(dǎo)體放大器的進(jìn)一步發(fā)展將全面地革新電子學(xué)設(shè)備的面貌，在國(guó)民經(jīng)濟(jì)上的意義極為重大”。２０世紀(jì)５０年代，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)方興未艾，中國(guó)尚屬空白。１９５６年，王守武與其他上千名科學(xué)家，共同參加周恩來(lái)總理親自主持的“全國(guó)十二年科學(xué)技術(shù)發(fā)展遠(yuǎn)景規(guī)劃的討論會(huì)”。在討論階段，王守武與施汝為、黃昆等科學(xué)家力陳發(fā)展半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的重要性及其對(duì)我國(guó)工農(nóng)業(yè)和國(guó)防的重大意義。后來(lái)，《１９５６—１９６７年科學(xué)技術(shù)發(fā)展遠(yuǎn)景規(guī)劃》將半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)列為四項(xiàng)緊急措施之一。中國(guó)科學(xué)院迅速響應(yīng)，成立我國(guó)首個(gè)半導(dǎo)體研究室，并任命王守武為主任，開(kāi)啟了我國(guó)半導(dǎo)體研究的先河。

接受任務(wù)后，王守武當(dāng)即中斷其他科研項(xiàng)目，全身心投入半導(dǎo)體研究的拓荒工作。他不僅通過(guò)科學(xué)報(bào)告會(huì)等形式積極普及半導(dǎo)體知識(shí)，強(qiáng)調(diào)其在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中的關(guān)鍵作用，還親自參與并指導(dǎo)實(shí)驗(yàn)，推動(dòng)研究深入。從１９５６年至１９６０年，半導(dǎo)體研究室在王守武的帶領(lǐng)下取得了顯著成果：成功研制出我國(guó)首根鍺單晶、合金結(jié)鍺晶體管、金鍵二極管，并實(shí)現(xiàn)了鍺單晶的實(shí)用化。同時(shí)，還拉制出我國(guó)第一根硅單晶，并推動(dòng)其實(shí)用化進(jìn)程。此外，還成功研制出我國(guó)首支鍺合金擴(kuò)散高頻晶體管，為科技發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

原中國(guó)科學(xué)院黨組書(shū)記、副院長(zhǎng)張勁夫在回憶時(shí)談到：“……第二代計(jì)算機(jī)出來(lái)了，晶體管的，科學(xué)院半導(dǎo)體所搞的。從美國(guó)回來(lái)搞半導(dǎo)體材料的林蘭英和科學(xué)家王守武、工程師王守覺(jué)兩兄弟，是他們做的工作。第二代計(jì)算機(jī)，每秒數(shù)十萬(wàn)次，為氫彈的研制作了貢獻(xiàn)。”

１９６０年，受命籌建中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所，半導(dǎo)體研究所正式成立后被任命為副所長(zhǎng)，負(fù)責(zé)全所科技業(yè)務(wù)管理和分支學(xué)科的組建工作。１９６２年，美國(guó)用砷化鎵半導(dǎo)體材料制成了第一只激光器，在世界上產(chǎn)生了廣泛而深遠(yuǎn)的影響。王守武敏銳地抓住時(shí)機(jī)，開(kāi)始組織半導(dǎo)體所向這一方向進(jìn)行探索。１９６３年，他組建了半導(dǎo)體激光器研究室，先后領(lǐng)導(dǎo)并參與了中國(guó)第一臺(tái)半導(dǎo)體激光器的研制，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體激光器的連續(xù)激射，并開(kāi)展半導(dǎo)體負(fù)阻激光器以及激光應(yīng)用的研究工作，為我國(guó)在這個(gè)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步奠定了基礎(chǔ)。

▲１９７９年，王守武在調(diào)試探針臺(tái)。

掛帥攻克集成電路成品率難關(guān)

集成電路，即通常所說(shuō)的“芯片”，是將電路所需的晶體管、二極管、電阻、電容等元件集成在微小半導(dǎo)體硅片上的電子器件。１９６４年，中國(guó)半導(dǎo)體所成功研制出首批集成電路，但至２０世紀(jì)７０年代，我國(guó)在該領(lǐng)域的研制與生產(chǎn)已遠(yuǎn)落后于國(guó)際水平。彼時(shí)，國(guó)內(nèi)僅少數(shù)單位能仿制出每片近千位的大規(guī)模集成電路樣品，且成品率極低，難以投入實(shí)際生產(chǎn)。

面對(duì)這一嚴(yán)峻挑戰(zhàn)，１９７７年鄧小平在全國(guó)自然科學(xué)學(xué)科規(guī)劃會(huì)議上明確提出：“一定要把大規(guī)模集成電路搞上去”。響應(yīng)中央號(hào)召，中國(guó)科學(xué)院隨即展開(kāi)深入研究，然而進(jìn)展緩慢，半導(dǎo)體所超凈線(xiàn)團(tuán)隊(duì)雖全力以赴，４千位大規(guī)模集成電路的成品率問(wèn)題仍未得到有效解決。鑒于此，１９７８年１０月，中國(guó)科學(xué)院決定邀請(qǐng)王守武全面負(fù)責(zé)提升集成電路成品率的任務(wù)，以期在這一關(guān)鍵領(lǐng)域取得突破。

王守武上任后重新組織人員，調(diào)來(lái)了包括吳德馨在內(nèi)的一批技術(shù)骨干，著手分析成品率低的原因。從穩(wěn)定工藝入手，組織研究人員逐一改進(jìn)、穩(wěn)定設(shè)備。然后對(duì)使用的原材料和試劑進(jìn)行分析提純，以達(dá)到可使用的指標(biāo)。最后，建立了一套操作規(guī)程和管理制度，并要求嚴(yán)格執(zhí)行。到１９７９年９月，他們做出的三種版圖的大規(guī)模集成電路樣品的成品率都提高到了２０％以上，達(dá)到了預(yù)定目標(biāo)。該項(xiàng)研究為解決我國(guó)大規(guī)模集成電路管芯成品率問(wèn)題提供了寶貴經(jīng)驗(yàn)，于１９８０年獲得中國(guó)科學(xué)院科技成果獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)。

王守武后來(lái)兼任中國(guó)科學(xué)院１０９工廠(chǎng)廠(chǎng)長(zhǎng)職務(wù)，開(kāi)展４千位大規(guī)模集成電路的推廣工作，從事提高成品率、降低成本的集成電路大生產(chǎn)試驗(yàn)。他大膽采用最新工藝和無(wú)顯影光刻技術(shù)，以一個(gè)電視機(jī)用的集成電路品種進(jìn)行流片試生產(chǎn)，一次就取得了芯片成品率達(dá)５０％以上的可喜成果，比國(guó)內(nèi)其他研制單位的成品率高出三四倍。這一成就贏得了１９８５年中國(guó)科學(xué)院科技進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)，后被授予國(guó)家級(jí)科技進(jìn)步獎(jiǎng)。１９８７年，王守武憑借深厚的專(zhuān)業(yè)底蘊(yùn)與前瞻視野，提出的“世界新技術(shù)革命和我國(guó)的對(duì)策”榮獲國(guó)家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)。１９９０年，王守武在給政協(xié)第七屆全國(guó)委員會(huì)第三次會(huì)議提案時(shí)指出，“要想發(fā)展我國(guó)的微電子工業(yè)，光靠引進(jìn)是不行的”“想從西方國(guó)家引進(jìn)先進(jìn)的微電子技術(shù)和裝備純屬幻想”“我們必須以自力更生為主來(lái)加速發(fā)展我國(guó)的微電子工業(yè)”。這些建議彰顯了他的遠(yuǎn)見(jiàn)卓識(shí)，以及對(duì)國(guó)家科技自立自強(qiáng)的擔(dān)當(dāng)和情懷。

王守武不僅致力于科研創(chuàng)新，還兼任多所高校的重要職務(wù)，深切關(guān)愛(ài)后輩，為中國(guó)半導(dǎo)體與集成電路事業(yè)培養(yǎng)了大量杰出人才。

“半世紀(jì)半導(dǎo)體從無(wú)到有半生精力獻(xiàn)祖國(guó)，一輩子一個(gè)勁日以繼夜一往追求無(wú)止境，一生間勤奮耕耘滿(mǎn)腹智慧眾人稱(chēng)，八十年清風(fēng)飛渡世上榮辱從不爭(zhēng)?！边@是弟弟王守覺(jué)院士在王守武八十歲生日時(shí)題寫(xiě)的賀詞。它深刻描繪了王守武為我國(guó)半導(dǎo)體科學(xué)事業(yè)奮斗一生的歷程，也是他對(duì)黨、國(guó)家、人民和科學(xué)事業(yè)無(wú)限忠誠(chéng)的生動(dòng)寫(xiě)照。

▲２００４年９月１７日，王守武和夫人葛修懷在參加“做人與治學(xué)”座談會(huì)后合影。